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          分析手段

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          二次離子質譜
          發布時間: 2019-10-16 13:27:46

          二次離子質譜


          應用:痕量雜質定性定量(標樣法)分析



          優點:檢測限可達PPM,甚至PPB量級,能檢測含氫在內的所有元素及同位素,分析化合物組分及有機大分子

                       結構,能夠進行微區成分的成像及深度剖面分析


          缺點:定量差,樣品表面需要平整,破壞樣品


          應用領域:半導體及微電子領域:基體表面痕量雜質分析

          環境領域:大氣中微粒成分分析、地質樣品

          納米材料的結構

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